德爾發(fā)采用日本進(jìn)口富士能激光干涉儀進(jìn)行測(cè)量，該干涉儀以中心波長(zhǎng)635nm的半導(dǎo)體激光器為光源，可測(cè)量口徑30mm以下的平面（平面系統(tǒng)）以及透鏡（球面系統(tǒng)）等的面精度。

此激光干涉儀采用小型化設(shè)計(jì)，有測(cè)量方法簡(jiǎn)單和測(cè)量精度高等特點(diǎn)，優(yōu)化了德爾發(fā)的質(zhì)檢系統(tǒng)，并有助于提高產(chǎn)品的質(zhì)量。